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近年来,我们致力于将BIXS(氚β衰变诱发X射线谱分析)方法发展成为一种准确测量含氚薄膜中氚含量及分布的常规方法。该方法结合了蒙特卡罗模拟与Tikhonov正则化方法,并讨论了β衰变产生的内韧致辐射、薄膜表面粗糙度以及实验装置几何参数描述的不准确性等因素对结果的影响。近期我们已将BIXS方法用于一系列氚化钛、氘化锆薄膜样品总氚量、表面均匀性与深度分布的分析。同时,PES(质子弹性散射分析)方法作为一种简单、快速的杂质成分含量及深度分布的分析手段,也被用于含氚薄膜样品中的氚含量及分布的分析,并与相应的BIXS结果进行了比较,对分析中的有关问题也进行了深入讨论。