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对应用混合集成技术制作的二轴振动传感器特点,确定了传感器制作的关键工艺,设计了关键工艺路线.制作的传感器通过了振动、冲击、温度冲击、高温工作、低温工作等各项环境试验,并对传感器各种性能进行测试,传感器外形尺寸20mm×20mm×12mm、非线性小于0.2％F.S、横向灵敏度比小于1.5％、工作温度范围-40℃～125℃、热零点漂移不大于0.001％FS/℃、热灵敏度漂移小于0.05％/℃.