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以CH4和Ar为反应气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积的方法在纯钛基片上制备了类金刚石碳(DLC)膜。通过拉曼光谱(Raman)及X射线光电子能谱(XPS)分析了不同直流偏压条件下所制备DLC薄膜的结构;利用扫描电子显微镜(SEM)观测薄膜表面形貌;使用纳米压痕仪测量薄膜硬度;将样片浸泡在1％的NaCl溶液中,利用球-盘摩擦磨损试验机对薄膜的生物摩擦学特性进行了研究。实验结果表明,制备的DLC薄膜结构致密,有较好的生物摩擦学性能。