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硅基微电子工业经历了飞速发展,半导体的集成程度不断增长,集成电路也经历了小规模到大规模和超大规模,本文讨论硅集成电路的极限和相应对策.
硅集成电路的极限和对策
【摘 要】
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硅基微电子工业经历了飞速发展,半导体的集成程度不断增长,集成电路也经历了小规模到大规模和超大规模,本文讨论硅集成电路的极限和相应对策.
【机 构】
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复旦大学应用表面物理国家重点实验室
【出 处】
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2000上海科技论坛综合报告会
【发表日期】
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2000年期
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