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本文将研究通过磁控溅射法在蓝宝石R面上生长ZnO薄膜，然后通过光刻义指换能器制作成能够激发Love波的声表面波延迟线器件，进一步检测其对湿度的传感特性。ZnO压电薄膜Love波传感器对湿度变化反应迅速，在环境湿度从10％RH变化到90%的过程中，其插损值变化2dB,且能很准确地运用插损值表征环境湿度。