论文部分内容阅读
利用氢等离子体处理多晶硅片,对处理前后的样品分别使用μ-PCD进行少子寿命的测试,讨论和比较了多晶硅中的钝化情况随氢等离子体处理温度和时间的变化规律.
氢等离子体钝化多晶硅的初步研究
【摘 要】
：
利用氢等离子体处理多晶硅片,对处理前后的样品分别使用μ-PCD进行少子寿命的测试,讨论和比较了多晶硅中的钝化情况随氢等离子体处理温度和时间的变化规律.
【机 构】
：
浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江大学(杭州)
【出 处】
：
中国第七届光伏会议
【发表日期】
：
2002年期
其他文献
以RTCVD方法在低成本衬底—颗粒硅带(SSP)上制备了外延晶体硅薄膜电池.在20×20mm上得到的最高转换效率为7.4﹪,开路电压488mV,短路电流21.91mA/cm,填充因子0.697.外延晶体硅薄
会议
本文分析了颗粒硅带(SSP:Silicon Sheet from Powder)的杂质、缺陷和晶粒尺寸以及电极设计对多晶硅薄膜太阳电池效率的影响.报道了用快速热化学汽相沉积法(RTCVD)在SSP上制备
介绍了一种新型超硬薄膜材料-氮化碳(CN)的组成和结构,并对其主要的力学性能,光学性能及应用进行了概述.并综述了氮化碳的反应溅射、化学气相沉积、离子注入、高压合成、激光
工业炉窑生产过程中常有迟延的存在,用传统控制方法不能获得满意的控制效果.为了解决这个问题,本文针对纯滞后系统的特点,给出了一种新的模糊神经网络Smith预测控制算法,即由
会议
故障现象:无伴音。出现此类故障时,首先检查扬声器或耳机是否有问题,若耳机有问题,则检查耳机功放电路LM833(见图1)是否有问题;若扬声器有问题,则更换扬声器。若以上均正常,
本文对不同的本底真空条件下,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术沉积的氢化微晶硅薄膜(μc-Si:H)中的氧污染问题进行了比较研究.通过等离子体辉光的光发射
会议
通过在颗粒硅带(SSP--Silicon Sheet from Powder)衬底上进行外延多晶硅薄膜、发射区扩散、掩膜法制作上下电极等工艺,制备了以颗粒硅带为衬底的多晶硅薄膜(poly-CsiTF)太阳
本文介绍了在RF-PECVD系统上采用调节气体辉光功率和反应压力方法沉积出4A/S以上,光敏性(σ/σ大于10的a-Si:H材料,并在此基础上得到高速沉积的非晶硅太阳电池,电池的效率高
目的研究胰岛素受体(INSR)基因多态性与飞行人员代谢综合征(MS)的相关性。方法采用聚合酶链反应-限制性片段长度多态性(PCR-RFLP)和基因测序技术检测38名飞行人员MS患者和50