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利用有限元方法及商用软件ANSYS,模拟薄膜/基体系统的楔形压头压痕脱层试验中的薄膜变形行为,研究了压头楔形角、压入深度、薄膜弹性模量以及薄膜屈服应力等参数对薄膜压痕应力分布的影响,给出了加载压痕应力计算公式.
薄膜楔形压痕脱层试验中的压痕应力
【摘 要】
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利用有限元方法及商用软件ANSYS,模拟薄膜/基体系统的楔形压头压痕脱层试验中的薄膜变形行为,研究了压头楔形角、压入深度、薄膜弹性模量以及薄膜屈服应力等参数对薄膜压痕应
【机 构】
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郑州大学 工程力学系,河南
【出 处】
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第十四届全国疲劳与断裂学术会议
【发表日期】
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2008年期
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