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氧化铝湿度传感器是目前露点测量中最为常见的一种湿度传感器.经改进后的α-Al<,2>O<,3>作湿敏层的湿度传感器,与早期的相比具有较宽的线性范围、较小的惰性和较小的温度系数.
一种新型的α-AlO绝对湿度传感器
【摘 要】
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氧化铝湿度传感器是目前露点测量中最为常见的一种湿度传感器.经改进后的α-AlO作湿敏层的湿度传感器,与早期的相比具有较宽的线性范围、较小的惰性和较小的温度系数.
【机 构】
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95989部队(北京) 电子科技大学材料分析中心(四川成都)
【出 处】
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2002年全国湿度、水分、气体学术交流会
【发表日期】
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2002年8期
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