【摘 要】
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分别在未施加和施加-100V、-200V、-300V偏压条件下,利用磁控溅射技术在压气机叶片用1Cr11Ni2W2MoV热强不锈钢基体上沉积了NbAlSiN涂层,采用SEM、EDS、XRD和显微硬度计表征了涂层的成分、微观结构、硬度和抗氧化性能.实验结果表明,NbAlSiN涂层都呈δ-NbN面心立方结构,且择优取向由(111)向(220)转变.偏压的施加使涂层的硬度得到提高,偏压为-200V时硬度
【机 构】
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江西科技师范大学江西省材料表面工程重点实验室
【出 处】
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2016年全国高温腐蚀与防护研讨会
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分别在未施加和施加-100V、-200V、-300V偏压条件下,利用磁控溅射技术在压气机叶片用1Cr11Ni2W2MoV热强不锈钢基体上沉积了NbAlSiN涂层,采用SEM、EDS、XRD和显微硬度计表征了涂层的成分、微观结构、硬度和抗氧化性能.实验结果表明,NbAlSiN涂层都呈δ-NbN面心立方结构,且择优取向由(111)向(220)转变.偏压的施加使涂层的硬度得到提高,偏压为-200V时硬度达到最大值30.2GPa,随着偏压的进一步增加,涂层的硬度降低至25.3GPa.
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