【摘 要】
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本论文探讨以SU-8高分子材料来制作光子晶体波导。光子晶体波导之制程部分是先在硅芯片上沈积一层二氧化硅,接着旋转涂布上奈米孔洞性二氧化硅薄膜及SU-8高分子材料。本论文研究之光子晶体波导结构具有制程简单及低传输损失之优点。此外,本论文以软件仿真来设计上述之光子晶体波导以达到最佳化之结构参数。仿真结果验证我们设计的SU-8光子晶体波导在大弯曲角度的情况下一样能导光,而且在1.55μm波长具有接近10
【机 构】
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中华技术学院电机工程学系,11581 台湾 台北市南港区研究院路三段245号
【出 处】
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全国第十三次光纤通信暨第十四届集成光学学术会议
论文部分内容阅读
本论文探讨以SU-8高分子材料来制作光子晶体波导。光子晶体波导之制程部分是先在硅芯片上沈积一层二氧化硅,接着旋转涂布上奈米孔洞性二氧化硅薄膜及SU-8高分子材料。本论文研究之光子晶体波导结构具有制程简单及低传输损失之优点。此外,本论文以软件仿真来设计上述之光子晶体波导以达到最佳化之结构参数。仿真结果验证我们设计的SU-8光子晶体波导在大弯曲角度的情况下一样能导光,而且在1.55μm波长具有接近100％的传输效率。
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