为了解决我国一些应用领域对分子泵性能评价与量值溯源的需求,研制出分子泵性能参数测试装置。分子泵性能参数主要包括抽速、极限真空度、压缩比等,研制出10^-110^-10Pam³/s量级的复合型标准气体流量计提供可变的气体流量,仅采用标准流量法实现测试罩内压力为1¹0—★Pa的条件下抽速的测量;通过满量程为1.33×10⁴Pa的电容薄膜真空计、磁悬浮转子真空计及分离真空计组合测量测试罩内气体压力,并利用磁悬浮转子真空计作为参考标准原位置校准分离真空计,相对于传统仅采用电离真空计测量测试罩内气体压力的方法,不仅拓宽了测试罩内气体压力的测量范围,并避免了电离型真空计灵敏度系数变化而引入的偏差;采用满量程为1.33×10⁵Pa、1.33×10²Pa的组合电容薄膜真空计测量分子泵出口压力,拓展了分子泵最高工作压力和压缩比的测量范围;采用SUS316L不锈钢制作的测试罩,通过特殊工艺处理后自身的放气量小于10^-11Pam³/s,从而使分子泵获得更好的极限真空度。研究结果表明,装置对分子泵抽速的测量范围为20⁵000L/s,相对合成标准不确定度为1.6%².6%;对分子泵极限真空度的测量范围为10^-3Pa²×10^-10Pa,相对合成标准不确定度为1.2%³.0%;对分子泵压缩比的测量范围为10¹0¹⁰,相对合成标准不确定度为1.3%³.2%。