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在机械载荷或热载荷作用下光机系统的光学元件表面会发生变形，这些变形将影响光学系统的成像性能。光学表面的变形分为刚体位移和表面畸变。采用有限元分析工具可以计算出光学表面在外载荷作用下的变形值，但却不能将两种变形量分离开。本文提出了一种基于有限元分析结果的可视化仿真方法。它利用zemike多项式与Seidel象差之间的对应关系，对有限元数据进行后处理，并采用数值解、表面畸变云图和理论干涉图等形式对镜面面形进行模拟。仿真试验表明，该方法不仅可以将两种变形量有效分离，而且具有图形显示的直观性，其在光机集成有限元分析中具有重要作用。