S01技术的现状、优势和应用

来源 :第六届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mujun246

【摘要】

：

该文详细介绍了SIMOX、BESOI和Unibond等S01技术的现状，燕对S01的优势和应用作了阐述。

【作者】

：

郭林曹阳苏万市辛毅石宏志李肇基

【机构】

：

电子部24部

【出处】

：

第六届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会

【发表日期】

：

1999年期

【关键词】

：

技术应用

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该文详细介绍了SIMOX、BESOI和Unibond等S01技术的现状，燕对S01的优势和应用作了阐述。

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