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详细介绍了两种监控RTP设备的方法，分别研究了两种方法的基本原理，通过对两种方法所得结果的详细比较与分析，得出离子注入退火的方法有较好的重复性，在低温段(760～850度)退火后方块电阻和温度有良好的线性关系(R=-0.69X+970.1)，线形相关系数为0.98，此方法可以作为一种监控RTP设备状态的新型手段。