【摘 要】
：
用激光分子束外延技术在SrTiO(001)衬底上外延生长SrTiO/BaTiO多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原位实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度,利用X射线衍射(XRD)对外延薄膜进行了结构分析,结果表明薄膜具有二维生长模式,在基片温度为380~470℃之间生长的薄膜具有原子级光滑,并且具有完全C轴取向.同时运用X射线光电子能谱(XPS
【机 构】
：
电子科技大学微电子与固体电子学院(四川成都)
论文部分内容阅读
用激光分子束外延技术在SrTiO<,3>(001)衬底上外延生长SrTiO<,3>/BaTiO<,3>多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原位实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度,利用X射线衍射(XRD)对外延薄膜进行了结构分析,结果表明薄膜具有二维生长模式,在基片温度为380~470℃之间生长的薄膜具有原子级光滑,并且具有完全C轴取向.同时运用X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜界面的互扩散,结果表明降低制备薄膜时的基片温度有利于减少互扩散.
其他文献
本文作者对十几年的配电地理信息系统开发和应用工作进行了总结,介绍了配电地理信息系统基本原理和特点,阐述了开发应遵循的原则,以及开发和应用过程所遇到的问题和解决办法,为正在进行这方面开发和建设的企业提供借鉴和参考.
针对北京市近几年来居民电采暖方式逐步扩大的趋势,以某居民小区为研究对象,利用远程抄表采集系统获得的整点负荷数据,对采暖负荷的时序变化规律、负荷指标水平、采暖用电的电费状况、以及采暖用电量与气象参数的关联性等多个方面,进行了全面的数据分析,这为政府和电力部门制定电力需求侧管理政策、拟定电采暖居民小区的配电规划方案,提供了科学的决策依据.
本文对多个试品进行了近400小时的电-热联合老化试验,对采集局部放电的时域和频域波形特征参量进行了分析,通过模糊聚类分析确定5个标准样本分别代表五个老化阶段.计算未知样本数据同标准样本数据的贴近度,进行油纸绝缘老化程度的判别,结果表明模糊贴近度法能够对样本的绝缘状态进行合理的判断.
本文提出了一种新颖的配电网集成保护和自动化方案,即暂态极性方向比较方案.这些技术以故障生成的暂态电流信号的检测和处理为基础,在配电网的各个变电站安装有专门设计的保护继电器.继电器的暂态检测单元检测故障生成的叠加分量电信号.然后,将暂态极性识别算法应用于叠加分量信号上,识别检出信号的极性.通过对来源于连接到变电站的所有线路段的信号极性进行比较,可以确定出故障的方向.通过处理来自于各变电站的方向信息,
本文提出基于电力线通信(PLC)的电厂信息处理平台的设计,利用实时数据库将分散控制,实时监控和管理信息系统相融合,通过电力线通信实现全厂信息共享,以提高电厂运行的安全性和经济性.
采用溶胶-凝胶技术,通过酸/酸二步法控制实验条件,由于表面活性剂具有特殊的表面活性性能,实验中采用表面活性剂十六烷基三甲基溴化氨(CTAB)为模板剂,正硅酸乙酯为硅源,甲基三乙氧基硅烷为有机硅烷,以及二次去离子水,盐酸为催化剂等原料制备SiO-MTES(摩尔比1:1.15)前驱体溶胶.通过简单提拉迅速蒸发溶剂等方法制备二氧化硅-甲基三乙氧基硅烷的有机-无机复合薄膜,测得的红外透射光谱表明所制备的薄
采用液相沉积法,在90℃下制备了纳米锐钛矿型TiO薄膜.采用XRD、UV透射光谱、薄膜表面接触角的测量、厚度的测量及亚甲基蓝降解等手段研究了TiO薄膜的性能.结果表明:所制备的TiO薄膜具有较好的超亲水特性及光催化活性,在可见光范围内具有较好的透明性,其平均透光率在80﹪以上.
以无机盐AlCl·6HO为初始原料,采用溶胶-凝胶法通过调节pH值控制溶胶体系的稳定性制备出具有耐高温、耐腐蚀性γ-AlO微孔膜,利用差热、BET和SEM对薄膜的组成、结构和表面形貌进行了分析表征.并对溶胶制备过程中的主要影响因素以及膜制备过程中膜性能的各种影响因素进行了深入探讨.
选用不同材料做衬底,使用溶胶-凝胶法制备纳米TiO薄膜,并采用XRD、AFM、UV、SPS对薄膜进行表征.在500℃以上焙烧2h后,即可获得锐钛矿型TiO薄膜,粒径15nm左右,紫外吸收光谱分析表明,薄膜在220~350nm处有较强的紫外吸收.
采用溶胶-凝胶法添加聚乙二醇表面活性剂制备了TiO纳米粒子,采用滚压涂敷法在玻璃基底上制得TiO纳米多孔薄膜,采用吸附法对多孔薄膜表面进行染料敏化处理.染料敏化处理前后,薄膜的微结构没有改变,但薄膜表面的成分发生了改变.对薄膜进行了XPS,AFM,SEM和XRD分析.结果表明,TiO纳米晶薄膜中纳米粒子晶型为锐钛矿,薄膜具有网络多孔结构,TiO粒子的粒径在20~30nm间,薄膜中空穴的孔径在50~