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日盲深紫外波段(240-280nm)的探测在军事、环境以及科学研究等领域都有着重要的意义,而基于宽禁带半导体AlGaN、SiC等的紫外光电探测器由于材料费用较高以及制备工艺不够成熟,目前还未广泛应用于日盲深紫外波段的探测中.
基于Al-SiO2多层结构日盲深紫外波段滤波器的研究与制备
【摘 要】
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日盲深紫外波段(240-280nm)的探测在军事、环境以及科学研究等领域都有着重要的意义,而基于宽禁带半导体AlGaN、SiC等的紫外光电探测器由于材料费用较高以及制备工艺不够成熟,目前还未广泛应用于日盲深紫外波段的探测中.
【机 构】
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南京大学电子科学与工程学院 江苏南京210093
【出 处】
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第13届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2014年2期
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