论文部分内容阅读
本文提出了一种机关报型结构的真空微电子磁敏传感器。该传感器的阳极分为五个部分，可以检测出电子束流在磁场作用下的偏转，利用坐标变换对磁场的三维分量分离求解，最终确定器件所在位置的磁场。解决了以往真空微电子磁敏传感器不能检测任意方向磁场的总是。分别用解析和数值方法分析了该结构中电子在磁场作用下偏转与磁场的关系。计算结果表明此种结构的磁敏传感器具有很高的灵敏度（10＜＇5℅]＞/T）。