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通过一种ＮＰＮ晶体管阵列电路的研制，给出了其工艺特点及难点，并经过多次版图设计及工艺设计优化，最终得到了满足使用要求的器件。
一种NPN晶体管阵列电路的研制
【摘 要】
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通过一种ＮＰＮ晶体管阵列电路的研制，给出了其工艺特点及难点，并经过多次版图设计及工艺设计优化，最终得到了满足使用要求的器件。
【机 构】
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兵器工业第二一四研究所(安徽蚌埠)
【出 处】
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第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
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1999年期
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