氮掺杂纳米TiO2薄膜电极的制备及其光电化学特性

来源 :2009年第十五次全国电化学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:laiking
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已有的研究表明,对二氧化钛进行金属或非金属掺杂(如C、N、P、S等)可以改善其对可见光的吸收,提高其光电性能,其中C、N、S被认为是改善二氧化钛在可见光范围内光电催化活性的掺杂元素.本文提出了利用TiN制备氮掺杂纳米TiO2薄膜并研究了其在可见光下的光电化学特性.氮掺杂纳米TiO2薄膜电极的制备过程分为两步,首先是TiN薄膜的制备,可有两种途径,一是直流反应磁控溅射方法,实验时采用钛靶,Ar为溅射气体,N2为反应气体,该方法的优点是可以通过控制氮氩比调控N的含量.二是电泳沉积的方法,利用纳米TiN粉体通过电泳沉积的方法可得到TiN薄膜.
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