常压吸附、真空解吸(VSA)流程和加压吸附、真空解吸(VPSA)流程统称为真空变压吸附,属于Guerin-Domine循环。此循环的精髓是采用抽真空的方式解吸,于1958年由Guerin de Montgaleuil和Domine在法国申请专利。VPSA流程在大型变压吸附制氧中有广泛的应用,是一种先进的变压吸附制氧流程,但由于其设备投资高、系统复杂,在微型变压吸附制氧领域还极少有人研究。因此,如何合理地简化设备及系统,把VPSA制氧流程引入微型制氧领域是亟待解决的问题。优化的微型VPSA流程可以极大地提高产品回收率,降低能耗,具有极高的应用价值。本文利用微型VPSA制氧实验装置,对反吹流程和无反吹流程、两种不同反吹流程的制氧效果进行了对比,研究了反吹气量、产品气量、节流阻力对产品气纯度的影响。