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Fabrication of Nanomechanical Resonators in Silicon Nitride
【机 构】
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Nanjing Electronic Devices Institute,Nanjing,Jiangsu,China
【出 处】
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中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议(1st International Conference of th
【发表日期】
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2008年期
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