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Ti掺杂DLC薄膜的制备及其结构研究

来源 :第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集 | 被引量 : 0次 | 上传用户：masonchina

【作 者】

：

王鹏 陈友明 张广安 刘维民 张俊彦

【出 处】

：

第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集

【发表日期】

：

2006年08期

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