有机聚合物亚微米敏感材料及特性研究

来源 :第五届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:boriszhou
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该文对有机聚合物亚微米薄膜的3种成膜技术:电解聚合法、低压化学气相沉积法和离心流延法进行了研究,研究了不同聚合物材料、成膜工艺及工艺参数对薄膜厚度的影响,成功地制备出亚微米(0.1微米)聚合物敏感膜,并对亚微米聚吡咯膜和聚酰亚胺的敏感特性进行了测试研究。
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