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采用激光分子束外延(LMBE)的方法在玻璃衬底上制备了二氧化钛薄膜，研究了制备温度和氧压对薄膜表面形貌、晶体结构和光学性能的影响。结果表明：二氧化钛薄膜的折射率随着温度的升高而增大，随着氧压的增大先增大后减小。薄膜在制备温度低于300℃时都为非晶态结构，在300℃时出现了板钛矿晶相，制备温度升高到500℃时，薄膜仍为板钛矿晶相。通过AFM图分析得出：随着基片温度的升高，二氧化钛薄膜的致密度增大，粗糙度增加；随着氧压的增大，致密度减小。随着温度的升高。二氧化钛薄膜的带隙变窄；随着氧压的增大，带隙变宽。