《真空镀膜技术的进展》

来源 :TFC`15全国薄膜技术学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vickyfucandy
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  随着高新技术的发展和人们生活水平提高的需求,各种具有特殊性能的薄膜材料层出不穷。真空镀膜技术是制备这些薄膜材料、生产高精尖薄膜产品的的关键技术。其中的离子镀膜技术近些年来得到了飞速发展,使我国生产出了众多的,性能优异的薄膜产品。国家的发展需要我们薄膜工作者继续努力,为我国的薄膜事业做出更多贡献。
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