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应用工控机实现电真空器件的程控真空排气,以真空度为工艺进程判据,细化控制量,优化工艺,保证工艺的一致性和稳定性,提高了产品的质量,其程控系统设计合理,操作简便,抗干扰能力强。
工控机在真空排气中的应用
【摘 要】
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应用工控机实现电真空器件的程控真空排气,以真空度为工艺进程判据,细化控制量,优化工艺,保证工艺的一致性和稳定性,提高了产品的质量,其程控系统设计合理,操作简便,抗干扰能
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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四川省电子学会电子测量与仪器专委会2005年学术年会(第十二届)
【发表日期】
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2005年期
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