【摘 要】
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本文利用硅基微机械加工技术制作了具有微桥结构的电阻式室温红外传感器,采用光学导纳矩阵法分析了FECVD-SiO/PolySi热氧SiO多层膜系的光学特性,指出器件的红外吸收率随PECVD
【机 构】
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微电子学研究所,清华大学(中国北京)
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本文利用硅基微机械加工技术制作了具有微桥结构的电阻式室温红外传感器,采用光学导纳矩阵法分析了FECVD-SiO<,2>/PolySi热氧SiO<,2>多层膜系的光学特性,指出器件的红外吸收率随PECVD-SiO<,2>红外吸收层厚度的增大呈起伏振荡并逐渐收敛的趋势,提出了一种提取红外吸收率的简单方法,并用实验阐述了PECVD-SiO<,2>红外吸收层厚度对于器件性能的影响.
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