无水条件下NF3在MnOx/Al2O3上的分解反应

来源 :第十六届全国催化学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：charleshuangjing

【摘要】

：

NF3 是近年来用于电子工业的一种新型蚀刻气,其温室效应潜值达17200,存留时间约740年,将该过程产生的NF3 废气先分解再排放是一项十分迫切的工作。催化水解法是分解NF3 废气的有效方法,即在催化剂的作用下,NF3 与水反应生成NOx 和HF,但产物HF 对反应器有强腐蚀作用。

【作者】

：

殷春晓王亚楠徐秀峰

【机构】

：

烟台大学化学化工学院,山东烟台264005

【出处】

：

第十六届全国催化学术会议

【发表日期】

：

2012年11期

【关键词】

：

三氟化氮无水分解脱氟剂过渡金属氧化物包覆氧化铝氧化锰包覆氧化铝

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