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报道了控制FeSiAl膜应力的几种有效方法，膜应力为10 7dyn/cm 2量级。20um、30um超厚FeSiAl膜，并制成了录像机磁头。
M1G 录像机磁头用FeSiAl 超厚膜
【摘 要】
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报道了控制FeSiAl膜应力的几种有效方法，膜应力为10 7dyn/cm 2量级。20um、30um超厚FeSiAl膜，并制成了录像机磁头。
【机 构】
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科学院计算技术研究所(北京) 大华电子有限公司
【出 处】
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中国物理学会第三届纳米磁性材料和物理学术讨论会第五届全国磁性薄膜学术会议
【发表日期】
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1998年12期
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