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本文介绍了中国计量院新建立的一套静态膨胀法真空系统,其测量范围:(5×10<-4>～1×10<5>)Pa,扩展不确定度:0.19％～0.02％(k=2)。用参考体积法确定了系统体积比,并用增量法和预压累积法进行了体积比复测。用对流风扇的方法减小了系统温度分布。
静态膨胀法真空系统
【摘 要】
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本文介绍了中国计量院新建立的一套静态膨胀法真空系统,其测量范围:(5×10～1×10)Pa,扩展不确定度:0.19％～0.02％(k=2)。用参考体积法确定了系统体积比,并用增量法和预压累积法进行
【机 构】
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中国计量科学研究院 北京 100013
【出 处】
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第十四届全国质谱分析和检漏会议、第九届全国真空计量测试会
【发表日期】
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2007年期
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