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分析了非掺ＧａＳｂ单晶片的化学抛光机制和影响非掺ＧａＳｂ单晶片抛光的因素，得到了非掺ＧａＳｂ的抛光工艺，利用该工艺可以制备表面质量优良的非掺ＧａＳｂ抛光片。
非掺GaSb单晶片抛光工艺研究
【摘 要】
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分析了非掺ＧａＳｂ单晶片的化学抛光机制和影响非掺ＧａＳｂ单晶片抛光的因素，得到了非掺ＧａＳｂ的抛光工艺，利用该工艺可以制备表面质量优良的非掺ＧａＳｂ抛光片。
【机 构】
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有色金属研究总院
【出 处】
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第九届全国化合物半导体.微波器件.光电器件学术会议
【发表日期】
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1996年期
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