【摘 要】
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采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损实验机等考察了薄膜的表面形貌、结构及其摩擦磨损性能。结果表明:所制备的含铝类金刚石薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高；薄膜与Si3N4陶瓷球对摩表现出良好的抗磨减磨性能,耐磨寿命超过3×105次。
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000 兰州大学 等离子体与金属材料研究所, 甘肃 兰州 730000
【出 处】
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第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
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采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损实验机等考察了薄膜的表面形貌、结构及其摩擦磨损性能。结果表明:所制备的含铝类金刚石薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高；薄膜与Si3N4陶瓷球对摩表现出良好的抗磨减磨性能,耐磨寿命超过3×105次。
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