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利用PECVD法结合固态源制备SnS2薄膜

来源 :第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zcom0907

【作 者】

：

王士才  刘明海  陈俊峰  程莉莉 

【出 处】

：

第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会

【发表日期】

：

2013年08期

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