XPS技术在IGZO非晶薄膜组份研究中的应用

来源 :第十二届全国青年分析测试学术报告会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ewen2005

【摘要】

：

采用XPS技术分析了不同气体制备的IGZO薄膜在退火前后的各元素组分的变化情况,发现IGZO薄膜中氧元素的不同化学状态含量与溅射气体以及退火工艺密切相关.利用XPS对每组IGZO样

【作者】

：

龚力谢方艳程蕾张卫红陈建张耿

【机构】

：

中山大学测试中心

【出处】

：

第十二届全国青年分析测试学术报告会

【发表日期】

：

2012年期

【关键词】

：

XPS技术非晶薄膜组份工作稳定性重要影响元素组分退火工艺气体制备

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用XPS技术分析了不同气体制备的IGZO薄膜在退火前后的各元素组分的变化情况,发现IGZO薄膜中氧元素的不同化学状态含量与溅射气体以及退火工艺密切相关.利用XPS对每组IGZO样品的价带谱进行采集和分析,观察到氧含量对IGZO薄膜价带顶的位置有直接的影响,这对IGZO-TFT的电学性能以及工作稳定性具有重要影响.

其他文献

四川省三县区1985—1989年疟疾病例流行病学分析

在已达到基本消灭疟疾的地区,还存在少数残存病例。为了解其发病特点及规律,为制订防治对策提供依据,我们以基本消灭疟疾的潼南县、长寿县、南桐区(以下称三县区)1985—1989

期刊

疟疾病例疟疾患者潼南县统计分析间日疟疟区人群分布季节分布抗疟上法

骶尾部慢性放射性溃疡的分期修复策略

目的:探讨应用分期修复策略修复骶尾部慢性放射性溃疡的临床效果。方法:采用回顾性队列研究方法。2010年1月—2020年 6月，北京积水潭医院收治骶尾部放射性溃疡12例，其中男7例、

期刊

伤口愈合骶尾部放射性溃疡臀部穿支皮瓣臀大肌肌皮瓣背阔肌肌皮瓣

低温等离子体探针元素质谱成像分析

利用毛细管放电产生的低温等离子体探针代替激光，提出了新的表面元素信息获取的方法，实现了固体表面样品的直接分析，获得了样品表面微区和纵深方向的元素分布信息。这种探针剥蚀

会议

化学分析低温等离子体探针质谱成像元素分布

一种测定岩石自由膨胀率的新方法

自由膨胀率是表征膨胀岩变形特性的一个重要指标,对岩土工程建设的设计与施工具有重要意义.本文提出的竹节式高精度岩石自由膨胀率测定装置和测试方法突破了传统测试方法存在

会议

纽约州饮水加氟与骨骼恶性肿瘤发病率的关系

饮水加氟对人体健康的潜在性危害问题一直有争论。赞成者强调饮水加氟可以保护牙齿的健康;反对者则提出饮水加氟会对人体健康带来各种危害,包括接触氟引起癌症问题。最近一

期刊

加氟骨肉瘤病人体健康危害问题毒理学研究大鼠纽约州赞成者癌死亡率组织学分类

硬性角膜接触镜表面等离子体接枝PEG及其表面分析研究

本文采用Ar等离子体辅助接枝法在RGP镜片表面成功接枝PEG分子,采用XPS、AFM和接触角测试等表面分析方法对材料表面性能和蛋白质吸附进行了分析表征,说明表面接枝PEG能改善镜

会议

透气性硬性角膜接触镜氟硅丙烯酸树脂表面亲水性蛋白质吸附性能等离子体接枝法

车险放开拒绝恶性竞争

据统计,我国目前共有7000余万辆机动车。去年一年即新增私人轿车100万辆。随着我国机动车辆的急增,车险已经成为我国财产保险中份额最大的险种。2003年1月1日起,车险费率全国

期刊

车险市场机动车辆保险机动车保险车险业务中国保监会汽车交易市场中国人保产险公司私人轿车保险监管部门

铅作业工人血、尿β_2-微球蛋白与红细胞游离原卟啉的相关分析

为研究铅对肾脏的早期损害作用,我们对住院的铅作业工人进行了血、尿β_2-微球蛋白(β_2-m)的测定,并将其结果分别与红细胞游离原卟啉(FEP)进行相关分析。现报告如下: 对象

期刊

氩离子刻蚀还原氧化铜的XPS研究

X射线光电子能谱(XPS)是一种分析物质表面(5 nm以内)化学元素及元素化学状态的表面分析技术.由于大部分样品在进行XPS分析前均处于大气环境,容易导致吸附污染.为测得样品表面

会议

荧光金纳米簇检测共存的Cu2+Hg2+

本文建立了一种通过荧光金纳米簇检测铜和汞离子的方法，以EDTA和硼氢化钠为掩蔽剂,其中EDTA可与铜络合,硼氢化钠可以还原Hg2+至Hg0,两者均可以抑制相应的猝灭效应.研究发现，这

会议

水质监测离子共存猝灭效应荧光金纳米簇

XPS技术在IGZO非晶薄膜组份研究中的应用

与本文相关的学术论文