论文部分内容阅读
无论是在半导体还是在微电子行业,掩膜版的制作都被视为一项非常重要的环节.随着科技及制造业的发展,掩膜版的制作技术也由一开始的手工刻红膜照相制版发展到现在的图形发生器直接绘图制版.不仅仅是效率,更重要的是在精度上得到质的飞跃和提高,为半导体和微电子行业的发展提供了坚实的基础和保证.本文回顾了制版技术的发展,并且结合中国大部分企业的现状,提出了一种独特的制版方法.