耐高温智能压力检测仪研究

来源 :2005全国博士生学术论坛——机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:namizc
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机械式压力检测装置无法满足在高温、高压和振动冲击等恶劣环境下压力检测的使用要求;采用了耐高温压阻式压力传感器作为压力枪测器件取代机械压力表,用SIMOX(separation by implanted oxygen)技术的SOI(silicon oninsulator)晶片在微加工平台上制作的传感器硅芯片,完成耐高温封装,并配置了放大电路,研制了智能压力检测仪,从而保证了测试结果的科学性、真实性和合理性。
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