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三轴加速度传感器是汽车电子和消费类电子产品市场发展的一个重要方向,有着巨大的市场份额.本项目为了解决热对流加速度传感器在三维空间测试的难题,开展了单片集成的应力弯曲悬臂梁式三轴热对流加速度传感器设计理论与CMOS兼容制造中所涉及的基础问题研究,为三维微纳机械结构和功能器件的设计提供了崭新的思路.