自偏置微波软磁薄膜铁磁共振:从声学模到光学模

来源 :中国物理学会2016年秋季会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qyjby
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  当今集成电路用微波软磁薄膜要求铁磁共振频率fr 高、磁导率高μ、自偏置性(无外磁场),且制备工艺与当今CMOS 工艺兼容,因此,具有高饱和磁化强度4πMS 的Fe-Co 基金属薄膜由于fr 和μ 高,CMOS 工艺兼容性好,得到广泛研究。
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