发射光谱分析中直流和射频电源的辉光放电等离子体激发温度的比较研究

来源 :2012国际冶金及材料分析测试学术报告会(CCATM2012) | 被引量 : 0次 | 上传用户：NF_Frankie

【摘要】

：

本文分别调查了采用直流和射频电源时辉光放电等离子体中铁原子谱线(发射能3.3-4.3eV)波尔兹曼图，并比较了两者的发射特点.波尔兹曼图呈良好的线性曲线，且可测定相应的激发温度.直流和射频等离子体温度值差别不大，且对于放电参数的依赖性大体相同，例如，放电电源和氩气气压.这些现象可能是源于一个相同的激发进程，即负极辉光区域内等离子体间能量分配相似的电子互相碰撞产生的结果.不管采用何种电源，结构相似的

【作者】

：

WAGATSUMA Kazuaki WAGATSUMA Kazuaki

【机构】

：

Institute for Materials Research, Tohoku University, Katahira 2-1-1, Sendai 980-8577, Japan

【出处】

：

2012国际冶金及材料分析测试学术报告会(CCATM2012)

【发表日期】

：

2012年7期

【关键词】

：

冶金分析铁原子谱线波尔兹曼图直流电源射频电源辉光放电等离子体激发温度

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