用SEM中利用固定位移法实现IC线宽测量

来源 :1988年全国大规模集成电路专用设备学术交流年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：moowoo

【摘要】

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该文简要叙述了利用固定位移法，在SEM中实现对IC线宽的测量。该方法的主要优点是：方法简单，测量精度较高且与SEM系统精度无关；由于实现微机控制，测量操作是自动完成的，适用于IC生产

【作者】

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周伟杜秉初桂裕宗

【机构】

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清华大学

【出处】

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1988年全国大规模集成电路专用设备学术交流年会

【发表日期】

：

1988年期

【关键词】

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位移法线宽测量重复精度系统精度微机控制生产过程方法测量装置测量精度标准偏差位移量叙述实验监测附件附加操作

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该文简要叙述了利用固定位移法，在SEM中实现对IC线宽的测量。该方法的主要优点是：方法简单，测量精度较高且与SEM系统精度无关；由于实现微机控制，测量操作是自动完成的，适用于IC生产过程中对线宽进行监测；测量装置可做为一个附件附加到SEM系统中即可实现IC线宽测量。实验结果表明固定位移量的重复精度为±0.016μm，测量的标准偏差3δ＜0.03μm。（本刊录）

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