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半导体激光器由于自身波导结构的不对称性导致光强分布不均匀而限制了其在工业加工上的应用，为了对半导体激光光束进行整形以获得均匀光斑，设计了一种基于微透镜阵列的半导体激光器堆栈匀化系统。分析了微透镜阵列对半导体激光匀化原理，通过微透镜边缘衍射对匀化光斑影响确定了微透镜孔径范围。
高均匀性半导体激光器堆栈匀化系统
【摘 要】
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半导体激光器由于自身波导结构的不对称性导致光强分布不均匀而限制了其在工业加工上的应用，为了对半导体激光光束进行整形以获得均匀光斑，设计了一种基于微透镜阵列的半导
【机 构】
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军械工程学院电子与光学工程系,河北石家庄050003
【出 处】
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第十届全国激光技术与光电子学学术会议
【发表日期】
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2015年期
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