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该文介绍了一种利用微机械加工技术制造的具有自锁功能的微惯性开关，重点介绍其结构设计和加工工艺。
微惯性开关的设计与加工
【摘 要】
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该文介绍了一种利用微机械加工技术制造的具有自锁功能的微惯性开关，重点介绍其结构设计和加工工艺。
【机 构】
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工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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