【摘 要】
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确定了微机械气流式全方位水平姿态传感器敏感元件中热敏电阻的最佳位置为d=900μm处(d为两两相对的检测热敏电阻之间的距离).采用有限元方法,通过建立敏感元件的三维模型计算了热敏电阻在不同的位置、不同倾斜状态下,敏感元件内温度场和流场的分布.计算结果表明:(1)当d改变时,温度场和流场都发生变化.(2)两两相对的检测热敏电阻处气流速度之差△v与倾角关系曲线也随d发生变化.这为该传感器的优化设计开辟
【机 构】
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北京信息科技大学,传感器技术研究中心,北京 100101
【出 处】
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中国电子学会第十五届电子元件学术年会
论文部分内容阅读
确定了微机械气流式全方位水平姿态传感器敏感元件中热敏电阻的最佳位置为d=900μm处(d为两两相对的检测热敏电阻之间的距离).采用有限元方法,通过建立敏感元件的三维模型计算了热敏电阻在不同的位置、不同倾斜状态下,敏感元件内温度场和流场的分布.计算结果表明:(1)当d改变时,温度场和流场都发生变化.(2)两两相对的检测热敏电阻处气流速度之差△v与倾角关系曲线也随d发生变化.这为该传感器的优化设计开辟了有效的研究途径。
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