【摘 要】
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采用超高真空电子束镀膜在蓝宝石衬底上生长了高质量铝膜，并制备成超导共面波导谐振腔。谐振腔在单光子水平的Q值达到40万。进一步用100KV电子束曝光和超高真空三腔电子束
【机 构】
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中国科学院物理研究所,北京100190
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采用超高真空电子束镀膜在蓝宝石衬底上生长了高质量铝膜，并制备成超导共面波导谐振腔。谐振腔在单光子水平的Q值达到40万。进一步用100KV电子束曝光和超高真空三腔电子束蒸发镀膜，获得了稳定的百纳米尺寸约瑟夫森结，并制备出Xmon量子比特。在稀释制冷机中进行量子腔电动力学读取，得到Xmon的退相干时间T1达到3微秒。
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