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真空材料放气率测试方法研究
真空材料放气率测试方法研究
来源 :第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:codeandme
【摘 要】
:
总结了材料放气率测试的各种方法:定容法、固定流导法、收集法和称重法。介绍了真空材料放气率测试的原理和方法,阐述了各自的测量范围.优缺点和关键技术.
【作 者】
:
曾祥坡
【机 构】
:
兰州物理研究所甘肃兰州730000
【出 处】
:
第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会
【发表日期】
:
2009年6期
【关键词】
:
材料放气率
定容法
固定流导法
收集法
称重法
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总结了材料放气率测试的各种方法:定容法、固定流导法、收集法和称重法。介绍了真空材料放气率测试的原理和方法,阐述了各自的测量范围.优缺点和关键技术.
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