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介绍用电化学腐蚀方法，以钨丝（Ｗ）为材料，通过快速控制电路控制微尖的腐蚀，以及电压变化范围、电压切断时间、腐蚀液浓度和钨丝浸入深度等因素对微尖质量影响的实验研究。
扫描隧道探针微尖制备及其影响因素的研究
【摘 要】
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介绍用电化学腐蚀方法，以钨丝（Ｗ）为材料，通过快速控制电路控制微尖的腐蚀，以及电压变化范围、电压切断时间、腐蚀液浓度和钨丝浸入深度等因素对微尖质量影响的实验研究。
【机 构】
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理工大学电子与通信工程系
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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