【摘 要】
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采用超声喷雾热解法,在Si(100)和石英玻璃衬底上,生长出没有相偏析、结晶质量好、不同组分比的Zn1-xMgxO薄膜(x=0.06,0.12,0.19,0.24,0.27).采用X射线衍射(XRD)、透过率(Tran
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,200050
【出 处】
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上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会
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采用超声喷雾热解法,在Si(100)和石英玻璃衬底上,生长出没有相偏析、结晶质量好、不同组分比的Zn1-xMgxO薄膜(x=0.06,0.12,0.19,0.24,0.27).采用X射线衍射(XRD)、透过率(Transittance)等分析方法,对Zn1-xMgxO薄膜的晶体结构及透光性进行了表征.结果表明:随着Mg含量的增多,Zn1-xMgxO薄膜仍然保持ZnO的纤锌矿结构,没有MgO相生成,证明Mg可以有效地溶入ZnO的晶格中.Zn1-xMgxO薄膜具有极好的透明性,在紫外-可见波段(400nm～800nm)的光透过率在85％以上;此外,随着Mg的增多,Zn1-xMgxO的吸收边出现明显的蓝移现象。
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