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基于分等级金属氧化物异质结构的高性能气体传感器研制
基于分等级金属氧化物异质结构的高性能气体传感器研制
来源 :中国化学会第30届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sherry77677
【摘 要】
:
鉴于气体传感器在有毒、有害、易燃易爆气体检测方面的重要作用,使得开发出具有高灵敏度,低检测下限,良好选择性和长期稳定性的传感器具有重要的科研和实际应用意义。然而,到
【作 者】
:
孙鹏
周鑫
王琛
李晓伟
刘江洋
卢革宇
【机 构】
:
吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区,长春,130012
【出 处】
:
中国化学会第30届学术年会
【发表日期】
:
2016年期
【关键词】
:
分等级
金属氧化物半导体
异质结构
高性能
气体传感器
易燃易爆气体
长期稳定性
应用意义
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鉴于气体传感器在有毒、有害、易燃易爆气体检测方面的重要作用,使得开发出具有高灵敏度,低检测下限,良好选择性和长期稳定性的传感器具有重要的科研和实际应用意义。然而,到目前为止,作为气体传感领域研究热点的金属氧化物半导体传感器件在以上方面依旧存在着不足或缺陷。
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