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La0.7Ca0.3MnO3YSZ薄膜的掠入射X射线衍射研究

来源 :第九届全国X-射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xy3594830691

【摘 要】

：

本文研究用90.离轴射频磁控溅射方法将La0.7Ca0 3MnO3(LCMO)沉积在(001)取向的钇稳定氧化锆(YSZ)单晶基片上,制取厚度分别为200(A),500(A),1000(A)的薄膜样品.通过掠入射X射

【作 者】

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施春龙 谭伟石 蔡宏灵 吴小山 邓开明 贾全杰 

【机 构】

：

南京理工大学理学院应用物理系,南京,210094南京大学固体微结构物理国家重点实验室,南京大学物理系,南京,210093中国科学院高能物理研究所,北京,100039

【出 处】

：

第九届全国X-射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会

【发表日期】

：

2006年10期

【关键词】

：

掠入射X射线衍射 应变弛豫 薄膜 晶格 

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本文研究用90.离轴射频磁控溅射方法将La0.7Ca0 3MnO3(LCMO)沉积在(001)取向的钇稳定氧化锆(YSZ)单晶基片上,制取厚度分别为200(A),500(A),1000(A)的薄膜样品.通过掠入射X射线衍射技术测量了LCMO薄膜材料的面内晶格常数,并结合常规X射线衍射研究了这些薄膜样品的晶格应变及其弛豫情况.研究结果表明,薄膜内不同厚度处的应变是不均匀的,薄膜内不同厚度处的面内晶格常数随着与薄膜-基片界面之间距离的增加而减小,表明具有大的晶格失配率的LCMO/YSZ薄膜的应变弛豫可能具有独特的机制.

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