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随着小型电子产品和微电子元器件需求量的日益增长，对加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔点材料)的精密处理日渐成为激光在工业应用中发展最快的领域之一，从而对该些材料的激光加工技术也相应日趋成熟。本文涉及的激光加工技术是目前应用范围较广、加工质量较好的紫外激光加工技术。
紫外激光加工在红外器件技术中的应用
【摘 要】
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随着小型电子产品和微电子元器件需求量的日益增长，对加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔点材料)的精密处理日渐成为激光在工业应用中发展最快的领域之一，从而对该些材料的激光
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
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2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会
【发表日期】
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2007年期
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